蔡司三坐標(biāo)測量機主機結(jié)構(gòu)主要分為：

蔡司三坐標(biāo)測量機主機結(jié)構(gòu)主要分為：

1、框架：是測量機的主體機械結(jié)構(gòu)架子。

2、標(biāo)尺系統(tǒng)：是測量機的重要組成部分，是決定儀器精度的一個重要環(huán)節(jié)。三坐標(biāo)測量機所用的標(biāo)尺有光柵尺、感應(yīng)同步器、磁尺及光波波長等。

3、三坐標(biāo)測量機導(dǎo)軌：是測量機實現(xiàn)三維運動的重要部件。測量機多采用滑動導(dǎo)軌、滾動軸承導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，而以氣浮靜壓導(dǎo)軌為主要形式。氣浮導(dǎo)軌由導(dǎo)軌體和氣墊組成，有的導(dǎo)軌體和工作臺合二為一。氣浮導(dǎo)軌還包括氣源、穩(wěn)壓器、過濾器、氣管、分流器等一套氣體裝置。

4、驅(qū)動裝置：是三坐標(biāo)測量機的重要運動機構(gòu)，可實現(xiàn)機動和程序控制伺服運動的功能。在測量機上一般采用的驅(qū)動裝置有滾動輪、鋼絲、齒形帶、齒輪齒條、光軸滾動輪等傳動，并配以伺服馬達(dá)驅(qū)動。直線馬達(dá)驅(qū)動正在增多。

5、平衡部件：主要用于Z軸框架結(jié)構(gòu)中。它的功能是平衡Z軸的重量，以使Z軸上下運動時無偏得干擾，使檢測時Z向測力穩(wěn)定。

6、轉(zhuǎn)臺與附件：轉(zhuǎn)臺是測量機的重要元件，它使測量機增加一個轉(zhuǎn)動運動的自由度，便于某些種類零件的測量。高精密加工，復(fù)合機器人，機床檢測服務(wù)